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お困りごと摩耗
生産性(スループット)
製品の交換工数 -
提案効果耐摩耗性向上
生産性向上(スループット向上)
工数削減
コストダウン -
製品種類ウエハ搬送ハンド
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
アスザックにてウエハ保持部の樹脂部分もセラミック製にて製作提案を行いました。セラミックスは軽量、高強度であり優れた耐久性を持ちます。ハンドの点検・交換頻度が減り、コストダウンや生産性UPに繋がりました。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは樹脂材料からのセラミック化により数倍の長寿命化を図れたことです。
セラミックスの特徴である軽量、高剛性、高強度を活かすことで優れた効果をすることが可能です。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
既存の樹脂製や金属製ウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。
従来、ウェハ保持部が樹脂仕様のハンドを使用されていましたが、使用していくうちに摩耗してしまうため、頻繁な交換が必要でした。