反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案

本事例のポイントは特に重要工程において、搬送ハンドのタイプを変えることで生産性向上を図ることができた点です。

搬送方式を変更することはリスクも伴いますが、日々進化する多孔質セラミックスのように新しい技術開発の成果を大きく得ることが可能です。今回のケースでは多孔質セラミックスの中でも細かな孔径のものを採用することで傷の防止を実現しています。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。