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お困りごと反りウエハ
ウエハの傷
位置ズレ -
提案効果反りウエハ対策
位置ズレ防止
歩留まり向上
機能性向上 -
製品種類ウエハ搬送ハンド
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
そこで「セラミックスデザインラボ」では、反りウエハを安定的に保持でき、ウエハの位置ズレも抑制できる8インチウエハ搬送用のベルヌーイハンドLeviZac®をご提案いたしました。
その結果、吸着不足・バキュームリークによる反りウエハの落下や、位置ズレによるウエハの傷、破損、不良を低減することができ、歩留まり向上を実現いたしました。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは、反りウエハを安定して保持し、且つウエハの位置ズレを低減できた点にあります。
反りウエハ用の搬送ハンドを設計する際は、吸着不足・バキュームリーク等の低減を考慮して設計を行う必要があります。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
反りウエハの搬送やウエハの位置ズレについてお困りの方は、お気軽にご相談ください。
半導体・FPD関連装置メーカーのお客様より、「検査・洗浄工程において反ったウエハを搬送する際、吸着不足によりウエハが落下してしまうことがあります。また、ウエハの位置ズレにも困っているですが、何か提案をしていただけないでしょうか？」ということで、搬送ハンドの製作実績が豊富な当社にお問い合わせがありました。