反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案

本事例のポイントは、反りウエハによるネガティブな影響の最小化を図れたことです。

反りウエハは搬送困難なことが多く、設備の停止やハンドの交換を要しますが、ウエハが反っていても搬送可能なハンドを用いることで反りウエハ対策が可能となります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

反りウエハについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。