マスクのセラミック化提案

本事例のポイントは金属材料からのセラミック化により2倍以上の長寿命化を図れたことです。

セラミックスの特徴である軽量、高剛性、高強度を活かすことで優れた効果をすることが可能です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存の成膜プロセスのマスク部品等についてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。