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お困りごと摩耗
静電気
製品の交換工数
コスト -
提案効果工数削減
コストダウン
機能性向上
生産性向上
耐摩耗性 -
製品種類ウエハ搬送ハンドPAD
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
そこで「セラミックスデザインラボ」では、3点のウエハ保持部（凸）を、一体加工から脱着可能なPADへ仕様変更することをご提案いたしました。
その結果、搬送ハンド自体を交換する必要がなく、摩耗したPADを交換するだけで済むので大幅なコストダウンになりました。
同時に、耐摩耗性および静電気拡散性が高いブラックアルミナコートの搬送ハンドをご提案し、製品の長寿命化にも貢献いたしました。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは、搬送ハンド自体を交換しなくてもいいよう、保持部を脱着可能なPADに置き換えることで交換コストを大幅に低減した点にあります。
一体加工に比べると初期コストは多少かかってしまいますが、ランニングコストを考慮するとPADにした方がコストを抑えられます。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
ウエハ搬送ハンドの形状設計やコストダウンにお困りの方は、お気軽にご相談ください。
半導体デバイスメーカーのお客様より、「エッチング装置向けロボットハンドのウエハ保持部が劣化・摩耗してくるとハンドをまるごと交換することになり、費用がかなりかかります。何とかならないでしょうか？」というご相談を頂きました。