ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案

本事例のポイントは、ウエハ搬送ハンドへのセンサー組み付けにより、生産性を向上した点にあります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、セラミックスの材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

半導体製造プロセスにおける工数削減・生産性向上に関するご提案もさせていただいておりますので、お気軽にご相談ください。