ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策

本事例のポイントはコーティングの最適な選定により新たなプロセス環境への適応を容易に図れたことです。

アスザックは半導体製造業界を中心に最先端のセラミックス技術開発を常に行っており、アウトガス対策を始めとした課題解決に対するソリューションをご用意しております。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。