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金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減

  • お困りごと
    接触ダメージ
    発塵
    摩耗
  • 提案効果
    接触ダメージ抑制
    摩耗防止
    コンタミ対策
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体検査装置・搬送装置メーカーのお客様より、「CVD・エッチング工程におけるウエハ搬送において、金属製の搬送ハンドを使用しているのですが、接触ダメージによるシリコンウエハの傷、破損に困っています。何か良い対策は無いでしょうか?」というご相談を頂きました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、シリコンと硬度が同じ導電性セラミックス(コルシード、当社開発材料)のウエハ搬送ハンドをご提案いたしました。

これにより、接触ダメージによるウエハの摩耗、傷、破損、発塵を大幅に低減することができ、不良率低減につながりました。

また、導電性セラミックスを採用しているため、金属同様に導電性を備えており、且つ導電性コーティングも不要です。

  • 金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減|セラミックスデザインラボ
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  • 金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、ウエハ搬送ハンドの材質を、金属から、シリコンと硬度が同じセラミックス材料に置き換えたことで、接触ダメージを低減した点にあります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

金属・樹脂製品からセラミックスへの材質変更をご検討の方、搬送ハンドとウエハの接触によるトラブルにお困りの方は、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
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営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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