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反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案

  • お困りごと
    反りウエハ
    ウエハの傷
    位置ズレ
  • 提案効果
    反りウエハ対策
    位置ズレ防止
    歩留まり向上
    機能性向上
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体・FPD関連装置メーカーのお客様より、「検査・洗浄工程において反ったウエハを搬送する際、吸着不足によりウエハが落下してしまうことがあります。また、ウエハの位置ズレにも困っているですが、何か提案をしていただけないでしょうか?」ということで、搬送ハンドの製作実績が豊富な当社にお問い合わせがありました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、反りウエハを安定的に保持でき、ウエハの位置ズレも抑制できる8インチウエハ搬送用のベルヌーイハンドLeviZac®をご提案いたしました。

その結果、吸着不足・バキュームリークによる反りウエハの落下や、位置ズレによるウエハの傷、破損、不良を低減することができ、歩留まり向上を実現いたしました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、反りウエハを安定して保持し、且つウエハの位置ズレを低減できた点にあります。


反りウエハ用の搬送ハンドを設計する際は、吸着不足・バキュームリーク等の低減を考慮して設計を行う必要があります。




「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

反りウエハの搬送やウエハの位置ズレについてお困りの方は、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
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  • 耐摩耗性
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  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

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