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反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案

  • お困りごと
    反りウエハ
  • 提案効果
    反りウエハ対策
    生産性向上(スループット向上)
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンドPAD

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

反りウェハを搬送する際に、通常の吸着ハンドでは搬送が出来なくなってきたとご相談頂きました。反りウエハの搬送の際にエラーが頻出するため、生産性の低下に繋がっているとのことでした。

当社からの提案・改善効果/After

PADタイプの吸着ハンドをご提案し、反りウエハについても搬送出来るようになりました。


搬送時にエラーが出ることも無く、安定した設備稼働に貢献することができました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、反りウエハによるネガティブな影響の最小化を図れたことです。


 


反りウエハは搬送困難なことが多く、設備の停止やハンドの交換を要しますが、ウエハが反っていても搬送可能なハンドを用いることで反りウエハ対策が可能となります。




「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

反りウエハについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

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営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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  • 静電気対策
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  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • ワークの傷防止
  • アウトガス抑制
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