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ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策

  • お困りごと
    アウトガス
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    導電性
    静電気
  • 提案効果
    静電気対策
    アウトガス抑制
    耐熱性向上
    表面抵抗値制御
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

新開発のプロセスにおいて、高温下でアウトガスが出ず、導電性のある搬送ハンドが必要となっていました。
従来の導電性フッ素樹脂コーティング仕様ではコーティング材料の面からもアウトガスの懸念がありましたが、中々適切なコーティングが見つからずにいらっしゃいました。

当社からの提案・改善効果/After

アスザック独自のコーティングであるADB膜をご提案、評価したところすべての要求を満たせすことができました。ADB膜は高温下でも表面抵抗値が低く、静電気拡散効果があります。また耐久性も高く、長期の連続使用が可能です。アウトガスの発生も少なく、新たなプロセスにおいても安心してご使用頂くことができました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントはコーティングの最適な選定により新たなプロセス環境への適応を容易に図れたことです。

アスザックは半導体製造業界を中心に最先端のセラミックス技術開発を常に行っており、アウトガス対策を始めとした課題解決に対するソリューションをご用意しております。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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