PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안

본 사례의 포인트는, 부품의 표면 처리를 실시하는 것으로 부품 재질이나 형상을 바꾸는 일 없이, 새로운 특성을 부가하는 것이 가능합니다.

아스작은 재료 개발, 코팅 개발에 주력하고 있으며, 모재나 부품 형상을 바꾸지 않고 부품에 새로운 특성을 부가할 수 있습니다. 특히 정전기 대책이나 오염 방지에 효과적인 접근입니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존 PAD에 대해 어려움이 있으시면 부담없이 상담해 주십시오.