1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

본 사례의 포인트는, 반송 방식이 다른 복수의 웨이퍼 반송 핸드를 사용하고 있어 교환 공수나 코스트가 걸려 있던 것을, 흡착·부상의 양 기능을 겸비한 다기능 핸드로 치환하는 것으로 공수 삭감·코스트 다운을 실현한 점에 있습니다.

반송 대상(웨이퍼, 필름 등)에 따라서는, 흡착 방식이 적합한 경우와, 부상에 의해 비접촉으로의 유지가 적절한 경우가 있기 때문에, 적절한 반송 방법을 선정할 필요가 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

반송 핸드의 비용이나 교환 공수에 대해 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.