VA/VE 제안 예시

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1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

  • 문제
    제품 교환 공수
    기능성
  • 제안 효과
    공수 절감
    비용 절감
    기능성 향상
    생산성 향상
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

반도체 제조 장치 메이커의 고객으로부터, “후공정·검사·세정 공정에 있어서 몇 종류의 웨이퍼 반송 핸드를 사용하고 있습니다만, 교체가 수고로 곤란하고 있습니다.뭔가 좋은 제안은 없습니까? 」라는 상담을 받았습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 1개의 반송 핸드로 웨이퍼의 흡착과 부상을 할 수 있는 공동 일체형의 다기능 핸드를 제안했습니다.

부상에 대해서는 베르누이 방식의 설계를 실시했습니다. 1개의 반송 핸드로 웨이퍼의 흡착과 부상의 구분을 할 수 있게 된 것으로, 반송 핸드의 교환 공수를 저감할 수 있어, 또한 코스트 다운에도 연결되었습니다.

  • 1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안|세라믹스 디자인 라보
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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는, 반송 방식이 다른 복수의 웨이퍼 반송 핸드를 사용하고 있어 교환 공수나 코스트가 걸려 있던 것을, 흡착·부상의 양 기능을 겸비한 다기능 핸드로 치환하는 것으로 공수 삭감·코스트 다운을 실현한 점에 있습니다.

반송 대상(웨이퍼, 필름 등)에 따라서는, 흡착 방식이 적합한 경우와, 부상에 의해 비접촉으로의 유지가 적절한 경우가 있기 때문에, 적절한 반송 방법을 선정할 필요가 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

반송 핸드의 비용이나 교환 공수에 대해 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

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  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 大型偏光フィルムの吸着
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
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  • 수율
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  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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웨이퍼 반송 핸드

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