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문제휨 웨이퍼
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제안 효과휨 웨이퍼 대책
생산성 향상(처리량 향상) -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드PAD
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
PAD 타입의 흡착 핸드를 제안해, 휨 웨이퍼에 대해서도 반송 할 수 있게 되었습니다.
반송시에 에러가 나오는 것도 없고, 안정된 설비 가동에 공헌할 수 있었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
이 사례의 요점은 휨 웨이퍼에 의한 부정적인 영향을 최소화하는 것입니다.
휨 웨이퍼는 반송 곤란한 것이 많아, 설비의 정지나 핸드의 교환을 필요로 합니다만, 웨이퍼가 휘어져 있어도 반송 가능한 핸드를 이용하는 것으로 휨 웨이퍼 대책이 가능해집니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
휨 웨이퍼에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주세요.
휨 웨이퍼를 반송할 때에, 통상의 흡착 핸드에서는 반송을 할 수 없게 되어 왔다고 상담 받았습니다. 휨 웨이퍼의 반송시에 에러가 빈번하기 때문에, 생산성의 저하에 연결되고 있다고 하는 것이었습니다.