휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안

본 사례의 포인트는 특히 중요한 공정에서 반송 핸드의 타입을 바꾸는 것으로 생산성 향상을 도모할 수 있었던 점입니다.

반송 방식을 변경하는 것은 리스크도 수반하지만, 매일 진화하는 다공질 세라믹스와 같이 새로운 기술 개발의 성과를 크게 얻을 수 있습니다. 이번 케이스에서는 다공질 세라믹 중에서도 섬세한 구멍 직경의 것을 채용하는 것으로 상처의 방지를 실현하고 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.