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문제마모
정전기
제품 교환 공수
비용 -
제안 효과공수 절감
비용 절감
기능성 향상
생산성 향상
내마모성 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드PAD
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 3점의 웨이퍼 유지부(볼록)를, 일체 가공으로부터 탈착 가능한 PAD에 사양 변경하는 것을 제안했습니다.
그 결과, 반송 핸드 자체를 교환할 필요가 없고, 마모된 PAD를 교환하는 것만으로 끝나므로 대폭적인 코스트 다운이 되었습니다.
동시에, 내마모성 및 정전기 확산성이 높은 블랙 알루미나 코트의 반송 핸드를 제안해, 제품의 장수명화에도 공헌했습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 반송 핸드 자체를 교환하지 않아도 되도록 유지부를 탈착 가능한 PAD로 치환함으로써 교환 비용을 대폭 저감한 점에 있습니다.
일체 가공에 비하면 초기 코스트는 다소 걸려 버립니다만, 런닝 코스트를 고려하면 PAD로 하는 쪽이 코스트를 억제할 수 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
웨이퍼 반송 핸드의 형상 설계나 코스트 다운에 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.
반도체 디바이스 메이커의 고객으로부터, 「에칭 장치용 로봇 핸드의 웨이퍼 유지부가 열화·마모해 오면 핸드를 통째로 교환하게 되어, 비용이 꽤 걸립니다. 어떻게든 되지 않을까요?」라고 하는 상담을 받았습니다.