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문제아웃 가스
내열성
전도성
정전기 -
제안 효과내열성 향상
정전기 대책
표면 저항값 제어
아웃 가스 억제 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
아스작 독자적인 코팅인 ADB막을 제안, 평가한 결과 모든 요구를 충족시킬 수 있었습니다. ADB막은 고온하에서도 표면저항값이 낮아 정전기 확산 효과가 있습니다. 또한 내구성도 높고 장기 연속 사용이 가능합니다. 아웃 가스의 발생도 적고, 새로운 프로세스에서도 안심하고 사용하실 수 있었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 코팅의 최적의 선정에 의해 새로운 공정 환경에의 적응을 용이하게 도모한 것입니다.
아스작은 반도체 제조업계를 중심으로 최첨단 세라믹 기술 개발을 지속적으로 실시하고 있으며, 아웃가스 대책을 비롯한 과제 해결에 대한 솔루션을 준비하고 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.
신개발의 과정에서 고온 하에서 아웃 가스가 나오지 않고, 도전성이 있는 반송 핸드가 필요해지고 있었습니다.
종래의 도전성 불소 수지 코팅 사양에서는 코팅 재료의 면에서도 아웃 가스의 우려가 있었습니다만, 꽤 적절한 코팅이 발견되지 않고 계셨습니다.