고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안

본 사례의 포인트는, 특수한 코팅에 의해, 고온하에서도 표면 저항값이 낮고 정전기 확산 효과가 높은 웨이퍼 반송 핸드를 실현한 점에 있습니다. 「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사가 개발한 독자 코팅 기술인 ADC막은, 고온 환경하에서도 표면 저항값이 낮은 채이므로 충분한 정전기 확산성을 확보할 수 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

보풀이나 불순물의 부착에 의한 불량의 발생에 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.