VA/VE 제안 예시

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휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안

  • 문제
    파티클
    흡착흔
    웨이퍼 상처
  • 제안 효과
    웨이퍼의 상처 방지
    휨 웨이퍼 대책
    흡착흔 억제
    수율 향상
    파티클 대책
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

웨이퍼에 흡착흔이 붙는다는 과제가 있어 해결책을 찾고 있었습니다.

웨이퍼에 흡착흔이 있으면 파티클이 발생의 원인이 되어 수율이 저하되어 버립니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

종래는 흡착 타입의 반송 핸드였는데, 웨이퍼에 흡착 흔적이 붙기 어려워지도록, 코팅 처리한 다공질 매입 핸드를 제안했습니다.

아스삭의 다공질 세라믹스의 구멍 직경은 30~40μm이며, 웨이퍼에 흡착흔이나 상처가 생기기 어렵다는 특성이 있습니다.

고객이 사용한 결과, 웨이퍼에 흡착흔이 붙기 어려워, 수율 향상에 공헌할 수 있었습니다.

  • 휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안|세라믹스 디자인 라보
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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는 특히 중요한 공정에서 반송 핸드의 타입을 바꾸는 것으로 생산성 향상을 도모할 수 있었던 점입니다.

반송 방식을 변경하는 것은 리스크도 수반하지만, 매일 진화하는 다공질 세라믹스와 같이 새로운 기술 개발의 성과를 크게 얻을 수 있습니다. 이번 케이스에서는 다공질 세라믹 중에서도 섬세한 구멍 직경의 것을 채용하는 것으로 상처의 방지를 실현하고 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 大型偏光フィルムの吸着
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
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  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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웨이퍼 반송 핸드

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