VA/VE 제안 예시

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웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책

  • 문제
    아웃 가스
    내열성
    전도성
    정전기
  • 제안 효과
    내열성 향상
    정전기 대책
    표면 저항값 제어
    아웃 가스 억제
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

신개발의 과정에서 고온 하에서 아웃 가스가 나오지 않고, 도전성이 있는 반송 핸드가 필요해지고 있었습니다.
종래의 도전성 불소 수지 코팅 사양에서는 코팅 재료의 면에서도 아웃 가스의 우려가 있었습니다만, 꽤 적절한 코팅이 발견되지 않고 계셨습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

아스작 독자적인 코팅인 ADB막을 제안, 평가한 결과 모든 요구를 충족시킬 수 있었습니다. ADB막은 고온하에서도 표면저항값이 낮아 정전기 확산 효과가 있습니다. 또한 내구성도 높고 장기 연속 사용이 가능합니다. 아웃 가스의 발생도 적고, 새로운 프로세스에서도 안심하고 사용하실 수 있었습니다.

  • 웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책|세라믹스 디자인 라보
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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는 코팅의 최적의 선정에 의해 새로운 공정 환경에의 적응을 용이하게 도모한 것입니다.

아스작은 반도체 제조업계를 중심으로 최첨단 세라믹 기술 개발을 지속적으로 실시하고 있으며, 아웃가스 대책을 비롯한 과제 해결에 대한 솔루션을 준비하고 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 大型偏光フィルムの吸着
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • ワークの傷防止
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

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