VA/VE 제안 예시

세라믹스 디자인 라보 > 마스크의 세라믹화 제안

마스크의 세라믹화 제안

  • 문제
    왜곡
    불량률
  • 제안 효과
    왜곡 억제
    비용 절감
    불량률 감소
  • 상품 유형
    기타

고객의 고민과 고민 / 비포

종래 성막의 공정에 있어서 금속제 마스크를 이용하고 있었는데, 마스크에 변형이 발생, 불량증에 연결되어 있다고 하는 것이었습니다.

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우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

아스작보다, 마스크의 금속제로부터 세라믹화의 제안을 실시했습니다. 세라믹화와 동시에, 웨이퍼로부터의 취수를 늘리기 위해서 종래품으로부터 마스크 형상을 설계 변경해 제작을 실시했습니다. 세라믹제의 마스크는 금속제의 것과 비교하면 왜곡이 적고, 불량률의 저감과 코스트 다운에 연결되었습니다.

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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는 금속 재료로부터의 세라믹화에 의해 2배 이상의 장수명화를 도모할 수 있다는 것입니다.

세라믹의 특징인 경량, 고강성, 고강도를 살려 뛰어난 효과를 낼 수 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존의 성막 프로세스의 마스크 부품 등에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 大型偏光フィルムの吸着
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • ワークの傷防止
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

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