厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。
当社の UniZac-air®（1.2 ｍｍタイプ）を使用すれば、カセットへの接触を回避します。
詳細は以下をご覧ください。

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厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド

「UniZac-air® （1.2 mmタイプ）」

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

セラミックスデザインラボを運営しているアスザックです。

お客様から、反りやたわみのあるウエハを搬送する際、カセット内でウエハが接触してしまうことがあるので、薄い搬送ハンドを開発してほしいとご要望を頂くことがありました。

そこで、アスザックでは、厚さ1.2 mmの当社オリジナルの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air® （1.2 mmタイプ）」を開発いたしました。

6 インチSiCウエハーをカセットへ搬送した場合のウエハの反りやクリアランスの数値例をご紹介いたします。ぜひご覧ください。

◆特長◆

・空洞一体型ハンド

・カセット内でのウエハの接触防止

・4～8 インチのウエハに対応可能

空洞一体型搬送ハンド

UniZac-air®

（1.2 ｍｍタイプ）

6インチSiCウエハーをカセットへ搬送する例　

（ウエハ厚み0.5 mm、反り1 mmの場合）

図1、図2に、6 インチSiCウエハーをピッチ4.76 mm、6.35 mmのカセットへ搬送する場合の断面模式図をそれぞれ示しました。また、表1に、6 インチSiCウエハーにおける寸法イメージを示しました。1.2 mmの薄型ハンドは、2 mmのハンドに比べて、クリアランスが0.8 mm増加します。

1.2 mmの薄型ハンドを使用することで、カセットへの接触を減らすことができ、歩留まり改善や生産性向上に貢献できます。

現状製作可能サイズは、160×70×1.2 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。

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