ウエハ搬送セラミックハンド設計改善・VAVE事例のご紹介

今回は、ウエハ搬送セラミックハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。

①　品質不良リスクを低減！ウエハとハンドの接触面積を最小化した事例

②　反りウエハも搬送可能！ベルヌーイハンドのウエハ吸着力アップ事例

③　穴位置を調整！ベルヌーイハンドのご提案事例

ウエハ搬送セラミックハンド
設計改善・VAVE事例のご紹介

いつもお世話になり、ありがとうございます。

アスザックの中澤です。

今回は、設備設計、生産技術の方へ情報をご提供させて頂きたいと思います。

また､試作時に役立つ情報もお伝えしますので、
ぜひ最後までご覧ください。

アスザックのファインセラミックス事業部は、国内トップの搬送用セラミックハンドのメーカーとして、20年以上ユーザー様にご愛顧頂いております。

ハンドは、基本的にユーザー様の工場、ワークに合わせて、独自設計を行うことが常であり、ウエハのサイズや搬送速度、位置決め精度等、工場ごとに異なる要件に合わせて設計製作を行います。

「現在使用しているハンドより、良くしたい」

「搬送スピードと精度を上げたい」

「ウエハに傷がつきやすいので、不良低減を図りたい」

などご相談を頂くことも多く、アスザックの技術営業チームでは、

日々お客様のハンドについて、改善提案を行っております。

今回は、ハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。

①　品質不良リスクを低減！
　　ウエハとハンドの接触面積を最小化した事例

ウエハ外周ハンドでのご提案事例です。
ウエハとハンドの接触面は、小さければ小さいほど、傷の防止につながるため、
安定した保持力と接触面積の最適なバランスを模索することが重要です。

Before

After

本事例では、ウエハ中央部の幅を広く取り、ハンドの腕部分を細く設計変更することで、ウエハとの接触面を小さくしています。

実際に設計変更したハンドをラインに導入する際には、

アスザック内で新設計ハンドによる、ウエハの搬送模擬テストを行い、
トラブルが生じないことを確かめてから納品させて頂きました。

②　反りウエハも搬送可能！
　　ベルヌーイハンドのウエハ吸着力アップ事例

ベルヌーイハンドの吸着力を向上させた事例です。

ベルヌーイハンドの吸着力は、噴き出し穴の個数や配置によって決まります。
噴き出し穴の仕様を変更・調整することで、一般的には搬送が難しい、反りがあるウエハ等も、ベルヌーイハンドで安定した搬送が可能となります。

こういった仕様変更・調整は、実際に試作品を用いながら、検証を進めていくことが重要ですが、アスザックでは、1品から特注ハンドを製作することができるため、試作装置等を用いてテストも可能です。