| 製品名称 | UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 12インチ用ハンド外形330×104 mm、 厚み3.5 mm |
こちらは、12インチ用の両面吸着タイプの搬送ハンドです。当社の空洞一体型技術により、両面吸着可能な2段空洞の一体型搬送ハンドを実現しました。空洞部に通じるザグリの吸着穴は3カ所で、Φ4深さ1.3 mmになります。吸引ポートは、Φ5の空洞部に通じるザグリ穴を両面に加工しました。ウエハ保持部の面粗度は、Ra0.8に仕上げました。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
