| 製品名称 | UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 ボンディング工程 検査工程 リソグラフィ工程 バックグラインド工程 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 12インチ用ハンド外形330×112 mm、 厚み3.5 mm |
こちらは、12インチ用のセンサー溝付きタイプの搬送ハンドです。当社の空洞一体型技術により、センサー溝が内部に設けられた空洞一体型搬送ハンドを実現しました。表面は、ウエハ吸着面で、裏面からセンサーを通す仕様になります。空洞部に通じるザグリの吸着穴は、3カ所で、Φ4深さ1.95 mmになります（図1参照）。吸引ポートは、Φ5の貫通穴です（図1参照）。ウエハ保持部の面粗度は、Ra0.8に仕上げました（図1参照）。センサーを通す出口は、幅3.4長さ15、深さ2.15の空洞部に通じる穴が施されています（図2参照）。センサーを通す先端側は、幅6.45，長さ23.5、深さ2.15の空洞部に通じる穴が施されています（図2参照）。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
