特注製作事例

セラミックスデザインラボ > 特注製作事例 > UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)

UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)

UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
製品名称 UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)
業界 半導体
ロボット・装置
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 12インチ用ハンド外形330×104 mm、 厚み3.5 mm

 

こちらは、12インチ用の両面吸着タイプの搬送ハンドです。当社の空洞一体型技術により、両面吸着可能な2段空洞の一体型搬送ハンドを実現しました。空洞部に通じるザグリの吸着穴は3カ所で、Φ4深さ1.3 mmになります。吸引ポートは、Φ5の空洞部に通じるザグリ穴を両面に加工しました。ウエハ保持部の面粗度は、Ra0.8に仕上げました。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

特注製作事例一覧

  • 最新事例
  • 業界から
    探す
  • 製品種類
    から探す
  • 材質から
    探す
  • 半導体
  • ロボット・装置
  • 光学機器
  • 化学・素材
  • セラミックス焼成治具
  • 産業機械
  • フィルム
  • 大学・研究機関
  • その他
  • ボンディング工程
  • 検査工程
  • リソグラフィ工程
  • バックグラウンド工程

半導体

ロボット・装置

産業機械

  • ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
  • ベルヌーイハンド
  • ウエハートレイ
  • 焼成治具
  • フィルター
  • その他
  • 多孔質チャック
  • ウエハ
  • XYステージ部品
  • 検査治具
  • セラミックスプレート
  • ピンチャック
  • セラミックステージ
  • セラミックガイド

ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)

ベルヌーイハンド

  • 超高純度アルミナ(4N)
  • 静電気拡散アルミナ
  • 高純度SiC
  • アルシーマL
  • ブラックアルミナ
  • 高純度アルミナ
  • SiC(炭化ケイ素)
  • 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
  • 導電性セラミックス

高純度アルミナ

多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)

CONTACT

お見積り・お問合せは、お電話/FAXまたはメールフォームより承ります。