| 製品名称 | 8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 光学機器 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 8インチ用ハンド外形272×100 mm、厚み2.23 mm |
こちらは、8インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための4カ所の吸着穴（幅1mm）を加工しました。4カ所の吸着穴の形状に合わせたガイド（テフロンテープ）の加工を行い、本体に貼り付けています。吸引ポートは1カ所で、穴径Φ6、端面ピッチ20mmです。また、取付穴は4×Φ5の貫通穴になっています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
