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8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)

8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)|セラミックスデザインラボ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)|セラミックスデザインラボ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)|セラミックスデザインラボ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)|セラミックスデザインラボ
製品名称 8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®、根本取付け治具あり)
業界 半導体
光学機器
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 8インチ用ハンド外形405.7×100 mm、厚み2.23 mm
こちらは、根元付近にON/OFFバルブの治具がついた8インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための4カ所の吸着穴(幅1mm)を加工しました。4カ所の吸着穴の形状に合わせたガイド(テフロンテープ)の加工を行い、本体に貼り付けています。吸引ポートは2カ所で、穴径Φ6,端面ピッチ20mmです。また、取付穴は4×Φ5の貫通穴になっています。根本付近の治具はアルミ製で、エアのON/OFFのバルブを設けております。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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