| 製品名称 | 4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 |
| 製品種類 |
ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） ベルヌーイハンド |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 外形226×85 mm、厚み2 mm |
こちらは、4～5インチウエハ用の薄型ベルヌーイハンドです。 従来は、2.5 mmのY型ベルヌーイハンドでしたが、こちらの製品は、総厚2 mmのしゃもじ形状を実現しました。さらに、空路内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜をコーティングしているため、パーティクルの発生を抑制します。当社のマシニングセンターを使用して、ハンドの厚み1.5ｍｍ、ガイドを含めて総厚2 mmで加工しています。3個1セットの噴き出し穴は、斜め穴加工を施し、空路に沿って4カ所に配置しています。吸引ポートは1カ所で、空洞部に通じる貫通穴を設けました。3箇所のガイドでウエハを保持する形状です。根本には、4個の取付け穴が加工されています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
