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4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)

4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|セラミックスデザインラボ
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4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|セラミックスデザインラボ
4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|セラミックスデザインラボ
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製品名称 4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
業界 半導体
ロボット・装置
光学機器
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
ベルヌーイハンド
材質 高純度アルミナ
サイズ 180×30 mm、厚み2mm

こちらは、4~8インチウエハ吸着用の薄型のI型ベルヌーイハンドです。製品の厚みは、ハンド本体が1.5mm、ガイドを含めて総厚2mmとなります。薄ウェハや反ウェハ用の搬送ハンドです。 噴き出し穴は、Φ0.5、円周上での斜め穴加工を8箇所施しました。ウェハ保持用に、厚さ0.5mmの8個のガイドが付いています。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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