製品名称 | 12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド(UniZac-Obon®) |
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業界 | 半導体 |
製品種類 | ウエハ搬送ハンド(ロボットトレイ式ハンド) |
材質 | 高純度アルミナ |
サイズ | 外形354×200 mm、厚み4mm |
こちらは、12インチ用のトレイタイプの搬送ハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハ保持部面粗度はRa0.8に仕上げました。ウエハ保持部の厚みは2mm、根本厚みは4mmです。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。