| 製品名称 | 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）高温仕様 |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 光学機器 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3 mm |
こちらは、12インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための3カ所の長穴形状の吸着穴（溝幅1mm）を加工しました。従来のPeriZacでは、外周3 mmのウエハ保持部は、テフロンテープ仕様でしたが、この製品は、アルミナ一体仕様です。アルミナ一体型製品のため、高温環境下での使用が可能です。吸引ポートは1カ所あり、Φ2の空洞部に通じる穴を加工しています。取付穴は6カ所あり、皿ザグリ加工を行っています。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
