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セラミックスデザインラボ > 特注製作事例 > 12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）

12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）

12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）|セラミックスデザインラボ
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12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）|セラミックスデザインラボ
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製品名称 12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界 半導体
製品種類 ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド）
材質 高純度アルミナ
サイズ 外形354×200 mm、厚み4mm
こちらは、12インチ用のトレイタイプの搬送ハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハ保持部面粗度はRa0.8に仕上げました。ウエハ保持部の厚みは2mm、根元厚みは4mmです。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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