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12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)

12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)|セラミックスデザインラボ
製品名称 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
業界 半導体
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 外形330×104 mm、厚み3.5 mm
こちらは、12インチ用の吸着タイプの搬送ハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハ保持部面粗度はRa0.8に仕上げました。空洞部に通じるザグリの吸着穴は3カ所で、Φ4深さ1.4になります。また、吸引ポートについては、Φ5の空洞部に通じるザグリ穴を1カ所施しました。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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