特注製作事例

セラミックスデザインラボ > 特注製作事例 > 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様

12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様

12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
製品名称 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様
業界 半導体
ロボット・装置
光学機器
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3 mm

こちらは、12インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための3カ所の長穴形状の吸着穴(溝幅1mm)を加工しました。従来のPeriZacでは、外周3 mmのウエハ保持部は、テフロンテープ仕様でしたが、この製品は、アルミナ一体仕様です。アルミナ一体型製品のため、高温環境下での使用が可能です。吸引ポートは1カ所あり、Φ2の空洞部に通じる穴を加工しています。取付穴は6カ所あり、皿ザグリ加工を行っています。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

特注製作事例一覧

  • 最新事例
  • 業界から
    探す
  • 製品種類
    から探す
  • 材質から
    探す
  • 半導体
  • ロボット・装置
  • 光学機器
  • 化学・素材
  • セラミックス焼成治具
  • 産業機械
  • フィルム
  • 大学・研究機関
  • その他
  • ボンディング工程
  • 検査工程
  • リソグラフィ工程

半導体

ロボット・装置

産業機械

  • ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
  • ベルヌーイハンド
  • ウエハートレイ
  • 焼成治具
  • フィルター
  • その他
  • 多孔質チャック
  • ウエハ
  • XYステージ部品
  • 検査治具
  • セラミックスプレート
  • ピンチャック

ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)

ベルヌーイハンド

  • 超高純度アルミナ(4N)
  • 静電気拡散アルミナ
  • 高純度SiC
  • アルシーマL
  • ブラックアルミナ
  • 高純度アルミナ
  • SiC(炭化ケイ素)
  • 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
  • 導電性セラミックス

高純度アルミナ

多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)

CONTACT

お見積り・お問合せは、お電話/FAXまたはメールフォームより承ります。