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12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様

12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様|セラミックスデザインラボ
製品名称 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様
業界 半導体
ロボット・装置
光学機器
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
材質 高純度アルミナ
サイズ 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3 mm

こちらは、12インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための3カ所の長穴形状の吸着穴(溝幅1mm)を加工しました。従来のPeriZacでは、外周3 mmのウエハ保持部は、テフロンテープ仕様でしたが、この製品は、アルミナ一体仕様です。アルミナ一体型製品のため、高温環境下での使用が可能です。吸引ポートは1カ所あり、Φ2の空洞部に通じる穴を加工しています。取付穴は6カ所あり、皿ザグリ加工を行っています。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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