ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）

こちらは、ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品です。アルシーマLは、アスザックが独自開発した、高純度な断熱セラミックスです。低熱膨張・低熱伝導である事が特徴で断熱材として用いられることが多いです。本製品は外径Φ10×内径Φ6×長さ10 mmに加工しております。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルシーマ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような断熱部品のほか、ウエハ搬送ハンド（自社開発品含む）や吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。