| 製品名称 | 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 産業機械 フィルム |
| 製品種類 | 多孔質チャック |
| 材質 |
ブラックアルミナ 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） |
| サイズ | 本体外径：Φ170、厚み20 mm、多孔質外径：Φ150、厚み8 mm |
こちらは、ウエハやフィルター、治具類の吸着に使用する多孔質チャックです。 当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量はありません。ブラックアルミナの本体と多孔質面が面一になるように加工しています。本体の側面に、吸着ポート（Rc1/8）を施しました。多孔質AZPV60と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
