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500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)

500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)|セラミックスデザインラボ
製品名称 500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)
業界 半導体
光学機器
化学・素材
フィルム
その他
製品種類 多孔質チャック
材質 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス)
サイズ 本体外形:580×580、厚み20 mm、  多孔質外形:500×500、厚み8 mm

 

 

こちらは、ウエハやフィルム、PLP基板の吸着に使用する大型多孔質チャックです。当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量は1mmになります。本体の側面に、5箇所の吸着ポート(Rc1/8)を施しました。多孔質と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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