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ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド(吸着・ベルヌーイ一体型)

ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド(吸着・ベルヌーイ一体型)|セラミックスデザインラボ
ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド(吸着・ベルヌーイ一体型)|セラミックスデザインラボ
ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド(吸着・ベルヌーイ一体型)|セラミックスデザインラボ
製品名称 ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド(吸着・ベルヌーイ一体型)
業界 半導体
製品種類 ウエハ搬送ハンド(ロボット吸着ハンド)
ベルヌーイハンド
材質 高純度アルミナ
サイズ 外形410×220 mm、厚み4.4 mm
こちらは、ウェーハプローバ装置用に使用する搬送ハンドです。 当社の独自技術である「中空一体成形技術」により、厚み4.4mmに対して、吸着とベルヌーイの流路の両方を設けております。当社のマシニングセンターを駆使して、噴き出し穴は、22.5°、Φ0.5の斜め穴加工を施しました。また、穴径Φ0.5×160個の吸着穴を加工しています。平面平行度は0.05に仕上げました。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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