コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減

本事例のポイントは、静電気対策により不純物の付着量を大きく低減した点にあります。

静電気によるスパークは、不純物の付着を招き、ウエハの傷・反りといったトラブルをもたらします。この問題への対策としては、導電性コーティングを施すほかにも、素材自体が導電性を備えておりコーティングが不要な導電性セラミックス材料の採用などがあります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。