VA・VE提案事例

静電気対策のPAD提案

  • お困りごと
    反りウエハ
    導電性
    静電気
  • 提案効果
    ウエハの傷防止
    反りウエハ対策
    静電気対策
    不良率低減
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンドPAD

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

ウエハ搬送に携わるお客様より、「ウエハ搬送ハンドにおいて、PADで吸着しつつ静電気対策もしたい」というご相談をいただきました。

当社からの提案・改善効果/After

アスザックより、導電性のあるPADを取り付けた静電気拡散アルミナ(ADC膜とADB膜)のハンドをご提案しました。


 


結果、静電気への対策が取れるようになり、歩留まり向上に繋がりました。

  • 静電気対策のPAD提案|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、静電気対策により、ウエハの摩耗・傷を防止し、歩留まり向上を実現した点です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

設計開発者のための
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  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
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  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • ワークの傷防止
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

工数削減

機能性向上

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