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お困りごと生産性(スループット)
製品寿命
コスト -
提案効果アウトガス抑制
耐熱性向上
工数削減
長寿命化
コストダウン -
製品種類ウエハ搬送ハンド
お客さまのお悩み・お困りごと/Before
当社からの提案・改善効果/After
アスザックの空洞一体技術によるセラミックス化提案を実施しました。
空洞一体技術を用いると接着剤フリーとなるため、従来SUSの剥がれ等で1年に1度交換が必要になっていた吸着ハンドが、セラミックスに変更後は数年に1度の交換頻度となり、コストダウンや交換手間の削減及び生産性UPに繋りました。
他に接着剤フリーの効果として、耐熱温度UP・アウトガス削減・ゴミ付着低減といったメリットも御座います。
本提案事例のポイント/Point
本事例のポイントは、金属材料からのセラミック化により2倍以上の長寿命化を図れたことです。セラミックスの特徴である軽量、高剛性、高強度を活かすことで優れた効果を発揮することが可能です。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。
既存の吸着ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。
従来SUS貼り合わせ仕様の吸着ハンドを使用していたお客様にて、使っているうちにSUSが剥がれて頻繁に交換が必要になるというご相談を頂きました。