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可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案

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    機能性向上
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  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

光学機器メーカーのお客様より、「ロボットや搬送装置ではなく、作業者が手でウエハ搬送を行うためのウエハ搬送ハンドは無いでしょうか?」ということで、搬送ハンドの特注製作実績が豊富な当社にご相談いただきました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、8インチウエハ搬送ハンド(PeriZac®)の根元に、エアのON/OFFのバルブを設けたレバー式タイプの可搬式搬送ハンドをご提案いたしました。

ハンドの根元に、手で保持するための棒状の治具を取り付けたことにより、作業者が手でウエハの吸着・搬送を行うことができるようになりました。

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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、装置やロボットによる自動搬送ではなく、作業者がウエハを吸着して持ち運ぶことを想定して製品設計を行った点にあります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

当社は、装置・ロボットに取り付ける用途のセラミックス製ウエハ搬送ハンドの製作実績が多数ございますが、本製品のような可搬式ハンドについてもノウハウがございます。

可搬式のウエハ搬送ハンドや搬送ハンドの形状設計についてお困りの方は、お気軽にご相談ください。

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