VA・VE提案事例

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コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減

  • お困りごと
    不純物
    静電気
    スパーク
    糸くず付着
  • 提案効果
    コンタミ対策
    静電気対策
    スパークリング防止
    不良率低減
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

お客様側でウエハ搬送ハンドのクリーニング作業を行う際に、ウエスの糸くずが表面に付着してしまい、歩留まり低下の原因となっていました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、当社独自のコーティング技術でアルミナに導電性を付加したウエハ搬送ハンドへの置き換えをご提案いたしました。

その結果、静電気対策や表面粗さ改善に繋がり、糸くずをはじめとする不純物が付着しにくくなったことで、不良率が低減しました。

  • コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、静電気対策により不純物の付着量を大きく低減した点にあります。

静電気によるスパークは、不純物の付着を招き、ウエハの傷・反りといったトラブルをもたらします。この問題への対策としては、導電性コーティングを施すほかにも、素材自体が導電性を備えておりコーティングが不要な導電性セラミックス材料の採用などがあります。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

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営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

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