휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안

본 사례의 포인트는, 장치나 로봇에 의한 자동 반송이 아니라, 작업자가 웨이퍼를 흡착하여 운반하는 것을 상정해 제품 설계를 실시한 점에 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

당사는, 장치・로봇에 장착하는 용도의 세라믹스제 웨이퍼 반송 핸드의 제작 실적이 다수 있습니다만, 본제품과 같은 가반식 핸드에 대해서도 노하우가 있습니다.

가반식의 웨이퍼 반송 핸드나 반송 핸드의 형상 설계에 대해서 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.