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문제불순물
정전기
스파크
보풀 부착 -
제안 효과오염 방지
정전기 대책
스파클링 방지
불량률 감소 -
상품 유형웨이퍼 반송 핸드
고객의 고민과 고민 / 비포
고객측에서 웨이퍼 반송 핸드의 클리닝 작업을 실시할 때에, 웨스의 보풀이 표면에 부착해 버려, 수율 저하의 원인이 되고 있었습니다.
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 당사 독자적인 코팅 기술로 알루미나에 도전성을 부가한 웨이퍼 반송 핸드에의 치환을 제안했습니다. 그 결과, 정전기 대책이나 표면 거칠기 개선에 연결되어 보풀을 비롯한 불순물이 부착하기 어려워진 것으로, 불량률이 저감되었습니다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 정전기 대책에 의해 불순물의 부착량을 크게 저감한 점에 있습니다.
정전기에 의한 스파크는 불순물의 부착을 초래해, 웨이퍼의 상처・휨 등의 트러블을 초래합니다. 이 문제에 대한 대책으로는, 도전성 코팅을 실시하는 것 외에도, 소재 자체가 도전성을 갖추고 있어 코팅이 불필요한 도전성 세라믹 재료의 채용 등이 있습니다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다。
기존의 웨이퍼 반송 핸드에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주십시오.
