ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案
製品種類: 焼成用セッター
提案効果: 接触ダメージ抑制,不良率低減,歩留まり向上,機能性向上
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: 反りウエハ対策,位置ズレ防止,歩留まり向上,機能性向上
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果: ウエハの傷防止,位置ズレ防止,接触ダメージ抑制,歩留まり向上
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類: ウエハ搬送ハンド
提案効果: ウエハの傷防止,反りウエハ対策,歩留まり向上,パーティクル対策,吸着痕抑制
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